什么是湖南力量
是心忧天下的胸怀
以湖湘之所能服务国家所需、人民所盼
是敢为人先的勇气
向着更高更深更快更强,不断向上登攀
是坚韧不拔的毅力
无惧艰难险阻坚定前行
是兼收并蓄的包容
集众家之所长,团结协作、共同攻坚
湖南省科学技术厅特别策划
《科技“湘”力量》系列视频
集中展示一批
重大科技创新成果
与你一同领略
可挑起千钧重担的科技力量
第三期《突破,8英寸》
见证国产8英寸碳化硅外延设备
走过的自主创新之路
成果名片
8英寸碳化硅外延设备,碳化硅外延片是制作碳化硅电力电子器件的关键材料,在用于生产碳化硅外延片的国产8英寸碳化硅外延设备研制攻关过程中,中国电科第四十八研究所团队先后解决了衬底易开裂、外延层厚度均匀性难控制等问题,实现了大尺寸外延材料生长所需的均匀、稳定温流场分布,进一步推进碳化硅电力电子器件制造降本增效,标志着国产第三代半导体专用核心装备迈进“8英寸时代”。
来源:科技湖南
编辑:秦舷